氧分析儀

簡要描述：氧分析儀Gasboard-3053搭載高穩定性的氧化鋯核心傳感器，覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測量。具有測量精度高、響應時間快、穩定性好等特點，可應用于半導體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領域，為關鍵的過程控制應用程序提供可靠的性能。產品采用緊湊型模塊化設計，體積小巧，便于在復雜?況下安裝，同時配備直觀豐富的用戶界面，提供人機交互體驗。

產品型號：Gasboard-3053
廠商性質：生產廠家
更新日期：2025-11-13
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產品分類

Product classification

半導體行業氣體分析儀

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產品名稱：氧分析儀

產品型號：Gasboard-3053

產品概述

氧分析儀Gasboard-3053搭載高穩定性的氧化鋯核心傳感器，覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測量。具有測量精度高、響應時間快、穩定性好等特點，可應用于半導體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領域，為關鍵的過程控制應用程序提供可靠的性能。產品采用緊湊型模塊化設計，體積小巧，便于在復雜?況下安裝，同時配備直觀豐富的用戶界面，提供人機交互體驗。

產品特性

測量精度?，ppm級別測量

響應速度快，秒級出數

即插即??體化設計

內置采樣泵與過濾系統，安裝維護便捷

本地化端到端服務保障

應用領域

半導體、LED等?產過程中氧濃度控制、惰性保護?體?產及焊接?藝中氧濃度監測、空?分離加??藝中氧濃度測定、真空?套箱系統中氧含量的監控

技術參數

微量-常量氧分析儀
功能性能需求	檢測氣體	O2
	量程范圍	0~10~100~1000ppm，0~25%，自動切換
	檢出限	0.5ppm
	分辨率	0.1ppm
	準確度/示值誤差/精度（ppm=氧分壓/當前?作總壓）	≤±2%F.S. 或 ±0.5ppm 以較大值為準
	響應時間	T90≤10s
	預熱時間	≤20min
	零點漂移	±0.5%F.S.
	量程漂移	±0.5%F.S.
	重復性	±0.5%F.S.
電氣結構	通訊協議	RS-232，RS-485
	氣路接口	進氣/出氣 1/4''VCR-F
	結構形式	一體式
	結構尺寸（LWD）	210134300mm
環境要求	傳感器（RSM）工作溫濕度	溫度：0~50℃；濕度：0~95%RH，非冷凝
環境要求	采樣流量	0.5~1L/min傳感器內設控流組件

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